内容：

项目名称：离子束辅助磁控溅射机

项目编号：JJ20221312

公告开始日期：2022-11-01

公告截止日期：2022-11-04

采购单位：重庆大学

付款方式：货到验收合格付款

到货时间要求：合同签订3个工作日内

收货地址：重庆大学虎溪校区第一实验楼量子实验室1楼

供应商资质要求：符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

公告说明：

采购商品：离子束辅助磁控溅射机

采购数量：1

计量单位：台

所属分类：电工器材

品牌：MKN沈阳麦科诺科技有限公司

型号：IBVTC450

技术参数及配置要求：1.t真空室为D形前开门结构,尺寸Ф420mmx450mm2.t极限真空度：≤6.6x10-5 Pa；3.t*采用任意角度安装脂润滑分子泵，抽速不小于700L/S4.t4英寸样品台 1套，加热温度600度。5.t*磁控靶磁钢与水与真空隔离，靶头尺寸不大于81mm，屏蔽罩采用三段调节固定，摆头采用焊接波纹管方式，调节角度0-45度。6.t二路MFC控制进气。7.t真空测量ZDF5227复合真空规进行测量。 8.t* invacuum气缸挡板组件：3套采用金属波纹管焊接气缸，采用球冠全遮挡挡板，角度0-90度安装开具方向可调节，圆周位置任意安装，气缸放置在真空内，气缸接口为直径3mm不锈钢管9.t直流电源：1台 500w (500V/1A)液晶屏显示，输出电压：0-500V输出电流：0-1A具有时间设定功能 10.t*高压电源：阳极电压4000v 1台输出电压：0-4000V输出电流：0-3mA调节方式：恒压 具有高压瞬态抑制保护11.t射频电源：1台 12.*冷阴极离子源：使用气体：氩气/氧气/氮气/氢气/烷类气体，工作气压1.3×10-2pa - 2.7pa 。13. 循环水冷却器：1台

售后服务：电话支持:7x24小时;质保期限:1年;响应时间:24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;发票类型:增值税专用发票;质保金:无;

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